ロジウムK_αX線のコンプトン散乱X線の理論強度を用いる樹脂薄膜の膜厚測定

• Material Type: 記事
• Title: ロジウムK_αX線のコンプトン散乱X線の理論強度を用いる樹脂薄膜の膜厚測定
• Author/Editor: 越智,寛友; 塩田,忠弘; 西埜,誠
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1994-05-05
• Publication Date (W3CDTF): 1994-05-05
• Alternative Title: Measurement of polymer film thickness based on throretical calculation of Rh K_α X-ray Compton scattering intensity
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 43(5)
• Volume: 43(5)
• Pages: 371-376
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: OCHI,Hirotomo; SHIOTA,Tadahiro; NISHINO,Makoto
• Subject Heading: Rh K_α X-ray Compton scattering; fundamental parameter method; measurement of polymer film thickness; theoretical calculation; polymer film; XRF analysis
• Note (General): 著者所属: 著者所属: (株)島津製作所; Affiliation: Affiliation: Shimadzu Corp.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10893330; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893330
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399477; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399477
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: Rhターゲットを持つX線管から発生し, 試料によって散乱されるRh K_αコンプトン散乱X線の強度を理論的に計算し, これと測定強度との比較により樹脂薄膜の膜厚を決定する方法について検討した.X線強度の計算は, 測定されるRh K_αコンプトン散乱X線が, ターゲット物質の特性X線であるRh K_α...