高周波グロー放電を用いる電子顕微鏡試料作製技術

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高周波グロー放電を用いる電子顕微鏡試料作製技術
• 著者・編者: 三谷,智明
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 2008-11-05
• 出版年（W3CDTF）: 2008-11-05
• 並列タイトル等: Electron Microscope Sample Preparation Technology by Using Radio Frequency Glow Discharge
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 57(11)
• 掲載巻: 57(11)
• 掲載ページ: 859-869
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: MITANI,Tomoaki
• 件名標目: electron microscope sample preparation; rf-GD
• 一般注記: 著者所属: 慶應義塾大学理工学部中央試験所; Affiliation: Central Facilities for Research, Faculty of Science and Technology, Keio University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10897105; https://dl.ndl.go.jp/pid/10897105
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399649; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399649
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 高周波グロー放電(rf-GD)は,薄膜試料の深さ方向の組成分析を目的とする発光分光装置等広い分野で利用されている.この高周波グロー放電で発生するAr^+イオンは,照射エネルギー(<50eV),イオン電流(〜100mA/cm^2)であり,試料へのダメージが主要な検出法の検出下限以下であり,物質への影響...