高周波グロー放電を用いる電子顕微鏡試料作製技術

• Material Type: 記事
• Title: 高周波グロー放電を用いる電子顕微鏡試料作製技術
• Author/Editor: 三谷,智明
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 2008-11-05
• Publication Date (W3CDTF): 2008-11-05
• Alternative Title: Electron Microscope Sample Preparation Technology by Using Radio Frequency Glow Discharge
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 57(11)
• Volume: 57(11)
• Pages: 859-869
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: MITANI,Tomoaki
• Subject Heading: electron microscope sample preparation; rf-GD
• Note (General): 著者所属: 慶應義塾大学理工学部中央試験所; Affiliation: Central Facilities for Research, Faculty of Science and Technology, Keio University
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10897105; https://dl.ndl.go.jp/pid/10897105
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399649; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399649
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 高周波グロー放電(rf-GD)は,薄膜試料の深さ方向の組成分析を目的とする発光分光装置等広い分野で利用されている.この高周波グロー放電で発生するAr^+イオンは,照射エネルギー(<50eV),イオン電流(〜100mA/cm^2)であり,試料へのダメージが主要な検出法の検出下限以下であり,物質への影響...