基板加熱型超臨界製膜装置における超臨界流体シミュレーション
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国立国会図書館デジタルコレクション
デジタルデータあり（みずほ情報総研）
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 岩崎拓也小野耕平山田英雄
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2012-03
- 出版年（W3CDTF）
- 2012-03
- 並列タイトル等
- Convective flow simulation of supercritical fluid in cold wall type reactor
- タイトル（掲載誌）
- みずほ情報総研技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 4(1)
- 掲載巻
- 4(1)