基板加熱型超臨界製膜装置における超臨界流体シミュレーション

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11066619

Material type: 記事

Author: 岩崎拓也ほか

Publisher: みずほ情報総研

Publication date: 2012-03

Material Format: Digital

Journal name: みずほ情報総研技報 4(1)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 基板加熱型超臨界製膜装置における超臨界流体シミュレーション
Author/Editor: 岩崎拓也
小野耕平
山田英雄
Publication, Distribution, etc.: 日本 : みずほ情報総研
Publication Date: 2012-03
Publication Date (W3CDTF): 2012-03
Alternative Title: Convective flow simulation of supercritical fluid in cold wall type reactor
Periodical title: みずほ情報総研技報
No. or year of volume/issue: 4(1)
Volume: 4(1)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11066619
https://dl.ndl.go.jp/pid/11066619
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2018-04-10T08:05:04+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2017-12-27
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.mizuho-ir.co.jp/publication/giho/mhir_004.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11066612
https://dl.ndl.go.jp/pid/11066612
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp