X線トポグラフィーによるSiC単結晶基板中の結晶欠陥の非破壊観測 : 研究開発から生産工程まで

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/12175471

資料種別: 記事

著者: Christian Reimannほか

出版者: リガク

出版年: 2021-10-21

資料形態: デジタル

掲載誌名: リガクジャーナル 52(2)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: X線トポグラフィーによるSiC単結晶基板中の結晶欠陥の非破壊観測 : 研究開発から生産工程まで
著者・編者: Christian Reimann
Christian Kranert
出版事項: 日本 : リガク
出版年月日等: 2021-10-21
出版年（W3CDTF）: 2021-10-21
タイトル（掲載誌）: リガクジャーナル
巻号年月日等（掲載誌）: 52(2)
掲載巻: 52(2)
ISSN（掲載誌）: 1883-8456
ISSN-L（掲載誌）: 0913-302X
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/12175471
https://dl.ndl.go.jp/pid/12175471
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2022-03-14T16:40:49+09:00
保存日（W3CDTF）: 2022-03-14
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://jp.members.rigaku.com/download/jornal/year/vol.52/J0522026TN4.pdf
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/12175578
https://dl.ndl.go.jp/pid/12175578
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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