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X線トポグラフィーによるSiC単結晶基板中の結晶欠陥の非破壊観測 : 研究開発から生産工程まで
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国立国会図書館デジタルコレクション
デジタルデータあり（リガク）
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Christian ReimannChristian Kranert
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2021-10-21
- 出版年（W3CDTF）
- 2021-10-21
- タイトル（掲載誌）
- リガクジャーナル
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 52(2)
- 掲載巻
- 52(2)
- ISSN（掲載誌）
- 1883-8456