X線トポグラフィーによるSiC単結晶基板中の結晶欠陥の非破壊観測 : 研究開発から生産工程まで

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12175471

Material type: 記事

Author: Christian Reimannほか

Publisher: リガク

Publication date: 2021-10-21

Material Format: Digital

Journal name: リガクジャーナル 52(2)

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Digital

Material Type: 記事
Title: X線トポグラフィーによるSiC単結晶基板中の結晶欠陥の非破壊観測 : 研究開発から生産工程まで
Author/Editor: Christian Reimann
Christian Kranert
Publication, Distribution, etc.: 日本 : リガク
Publication Date: 2021-10-21
Publication Date (W3CDTF): 2021-10-21
Periodical title: リガクジャーナル
No. or year of volume/issue: 52(2)
Volume: 52(2)
ISSN (Periodical Title): 1883-8456
ISSN-L (Periodical Title): 0913-302X
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12175471
https://dl.ndl.go.jp/pid/12175471
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2022-03-14T16:40:49+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2022-03-14
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://jp.members.rigaku.com/download/jornal/year/vol.52/J0522026TN4.pdf
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/12175578
https://dl.ndl.go.jp/pid/12175578
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp