X線小角散乱法を用いた半導体デバイス構造の3次元形状計測

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/14564630

資料種別: 記事

著者: 後藤拓実

出版者: リガク

出版年: 2024-10

資料形態: デジタル

掲載誌名: リガクジャーナル 55(2)(122)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: X線小角散乱法を用いた半導体デバイス構造の3次元形状計測
著者・編者: 後藤拓実
出版事項: 日本 : リガク
出版年月日等: 2024-10
出版年（W3CDTF）: 2024-10
タイトル（掲載誌）: リガクジャーナル
巻号年月日等（掲載誌）: 55(2)(122)
掲載巻: 55(2)(122)
ISSN（掲載誌）: 1883-8456
ISSN-L（掲載誌）: 0913-302X
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/14564630
https://dl.ndl.go.jp/pid/14564630
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2025-12-04T11:44:59+09:00
保存日（W3CDTF）: 2025-12-04
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://rigaku.com/ja/resources/rigaku-journal
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/14565576
https://dl.ndl.go.jp/pid/14565576
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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