X線小角散乱法を用いた半導体デバイス構造の3次元形状計測

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14564630

Material type: 記事

Author: 後藤拓実

Publisher: リガク

Publication date: 2024-10

Material Format: Digital

Journal name: リガクジャーナル 55(2)(122)

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Digital

Material Type: 記事
Title: X線小角散乱法を用いた半導体デバイス構造の3次元形状計測
Author/Editor: 後藤拓実
Publication, Distribution, etc.: 日本 : リガク
Publication Date: 2024-10
Publication Date (W3CDTF): 2024-10
Periodical title: リガクジャーナル
No. or year of volume/issue: 55(2)(122)
Volume: 55(2)(122)
ISSN (Periodical Title): 1883-8456
ISSN-L (Periodical Title): 0913-302X
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14564630
https://dl.ndl.go.jp/pid/14564630
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2025-12-04T11:44:59+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2025-12-04
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://rigaku.com/ja/resources/rigaku-journal
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/14565576
https://dl.ndl.go.jp/pid/14565576
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp