高圧アニールプロセスの半導体デバイス用デュアルダマシン銅配線形成への応用

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8705318

資料種別: 記事

著者: 大西隆ほか

出版者: 神戸製鋼所

出版年: 2002-09-01

資料形態: デジタル

掲載誌名: R&D神戸製鋼技報 (201)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 高圧アニールプロセスの半導体デバイス用デュアルダマシン銅配線形成への応用
著者・編者: 大西隆
逸見義男
吉川哲也
出版事項: 日本 : 神戸製鋼所
出版年月日等: 2002-09-01
出版年（W3CDTF）: 2002-09-01
並列タイトル等: The application of high pressure annealing to damascene-fabricated Cu interconnections in ULSI devices
タイトル（掲載誌）: R&D神戸製鋼技報
巻号年月日等（掲載誌）: (201)
掲載巻: (201)
ISSN（掲載誌）: 2188-0913
ISSN-L（掲載誌）: 0373-8868
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8705318
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705318
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2014-07-17T02:32:58+09:00
保存日（W3CDTF）: 2014-04-25
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://www.kobelco.co.jp/technology-review/vol52_2.htm
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8705307
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705307
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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