高圧アニールプロセスの半導体デバイス用デュアルダマシン銅配線形成への応用

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8705318

Material type: 記事

Author: 大西隆ほか

Publisher: 神戸製鋼所

Publication date: 2002-09-01

Material Format: Digital

Journal name: R&D神戸製鋼技報 (201)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 高圧アニールプロセスの半導体デバイス用デュアルダマシン銅配線形成への応用
Author/Editor: 大西隆
逸見義男
吉川哲也
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 神戸製鋼所
Publication Date: 2002-09-01
Publication Date (W3CDTF): 2002-09-01
Alternative Title: The application of high pressure annealing to damascene-fabricated Cu interconnections in ULSI devices
Periodical title: R&D神戸製鋼技報
No. or year of volume/issue: (201)
Volume: (201)
ISSN (Periodical Title): 2188-0913
ISSN-L (Periodical Title): 0373-8868
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8705318
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705318
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2014-07-17T02:32:58+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2014-04-25
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.kobelco.co.jp/technology-review/vol52_2.htm
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8705307
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705307
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp