銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8705704

資料種別: 記事

著者: 鈴木哲雄ほか

出版者: 神戸製鋼所

出版年: 2007-04-23

資料形態: デジタル

掲載誌名: R&D神戸製鋼技報 (215)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発
著者・編者: 鈴木哲雄
高田悟
河合明博
出版事項: 日本 : 神戸製鋼所
出版年月日等: 2007-04-23
出版年（W3CDTF）: 2007-04-23
並列タイトル等: New process for reclaiming test wafers without copper contamination
タイトル（掲載誌）: R&D神戸製鋼技報
巻号年月日等（掲載誌）: (215)
掲載巻: (215)
ISSN（掲載誌）: 2188-0913
ISSN-L（掲載誌）: 0373-8868
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8705704
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705704
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2014-07-17T02:32:58+09:00
保存日（W3CDTF）: 2014-04-25
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://www.kobelco.co.jp/technology-review/vol57_1.htm
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8705702
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705702
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp