銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8705704

Material type: 記事

Author: 鈴木哲雄ほか

Publisher: 神戸製鋼所

Publication date: 2007-04-23

Material Format: Digital

Journal name: R&D神戸製鋼技報 (215)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発
Author/Editor: 鈴木哲雄
高田悟
河合明博
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 神戸製鋼所
Publication Date: 2007-04-23
Publication Date (W3CDTF): 2007-04-23
Alternative Title: New process for reclaiming test wafers without copper contamination
Periodical title: R&D神戸製鋼技報
No. or year of volume/issue: (215)
Volume: (215)
ISSN (Periodical Title): 2188-0913
ISSN-L (Periodical Title): 0373-8868
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8705704
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705704
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2014-07-17T02:32:58+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2014-04-25
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.kobelco.co.jp/technology-review/vol57_1.htm
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8705702
https://dl.ndl.go.jp/pid/8705702
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp