液晶パネル配線膜におけるダイレクトコンタクト対応Al合金の開発
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国立国会図書館デジタルコレクション
デジタルデータあり(神戸製鋼所)
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 釘宮敏洋米田陽一郎後藤裕史
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2007-04-23
- 出版年(W3CDTF)
- 2007-04-23
- 並列タイトル等
- Development of Al-Ni interconnections for TFT-LCDs using direct contacts with ITO and a-Si
- タイトル(掲載誌)
- R&D神戸製鋼技報
- 巻号年月日等(掲載誌)
- (215)
- 掲載巻
- (215)