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Table of Contents
43(8) 2000.8
- 小特集「反応性スパッタリングとターゲット」
p.767~789
43(6) 2000.06
- 洗浄技術概論
p.631~641
- 超音波洗浄
p.642~646
- プラズマ洗浄と半導体組み立て工程への応用
p.647~653
- 超臨界 二酸化炭素による洗浄技術
p.654~659
- オゾン化超純水洗浄
p.660~666
43(5) 2000.05
- 小特集 ドライポンプ
p.557~579
- 解説 各種ドライポンプの現状と課題 (小特集 ドライポンプ)
p.557~563
- 製品紹介 多段分離型ドライポンプ (小特集 ドライポンプ)
p.572~575
43(7) 2000.7
- 小特集 環境問題へのスパッタ・プラズマ技術の展開
p.707~723
- 技術資料 電子線処理による種子の除菌,殺菌
p.724~727
- 解説 金属酸化物の表面構造
p.728~733
43(4) 2000.04
- 小特集 低温における吸着と冷凍技術
p.469~503
- パルス管冷凍機に関する最近の話題 (小特集 低温における吸着と冷凍技術)
p.477~483
- 熱音響理論による冷凍機の理解 (小特集 低温における吸着と冷凍技術)
p.484~491
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- ISSN
- 0559-8516
- ISSN-L
- 0559-8516
- Title
- Title Transcription
- シンクウ
- Volume
- 43(4)-43(8) 20000400-20000800
- Author Heading
- 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )Authorities真空協会 シンクウ キョウカイ ( 00781289 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000