電子技術総合研究所研究報告 (991)
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Table of Contents
第1章 序論
p1~3
第2章 超高真空電子ビ―ム描画装置の開発
p4~16
第3章 高分解能レジストへのファインパターンニング
p17~23
第4章 SiO2レジストを利用したナノファブリケーション
p24~32
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- ISSN
- 0366-9106
- ISSN-L
- 0366-9106
- Title
- Title Transcription
- デンシ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ ケンキュウ ホウコク
- Volume
- (991)
- Author/Editor
- 電子技術総合研究所 編
- Author Heading
- 工業技術院電子技術総合研究所 コウギョウ ギジュツイン デンシ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ ( 00288079 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2000-03