プラズマプロセスによるZnSeヘテロエピタキシャル成長
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Table of Contents
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目次
第1章 序論
p1
第1章の参考文献
p6
第2章 プラズマ･アシステド エピタキシーによるZnSe薄膜の成長法と評価法
p7
2-1 はじめに
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ プロセス ニ ヨル ZnSe ヘテロエピタキシャル セイチョウ
- Author/Editor
- 山内智 [著]
- Author Heading
- 山内, 智 ヤマウチ, サトシ
- Degree Grantor
- 東北大学
- Date Granted
- 平成3年3月28日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第4418号
- Degree Type
- 工学博士