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博士論文

光CVD五酸化タンタル薄膜の堆積とリーク電流低減の機構に関する研究

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光CVD五酸化タンタル薄膜の堆積とリーク電流低減の機構に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-92-K432
Bibliographic ID of National Diet Library
000000251183
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3061516
Material type
博士論文
Author
谷本智 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京農工大学,工学博士
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博士論文

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  • 【第1章 序論】

    p1

  • 1.1 本研究の歴史的背景

    p1

  • 1.2 低リーク電流酸化タンタル膜の実現

    p5

  • 1.3 本研究のあらましと意義

    p8

  • 【第2章 光CVD装置の構成と操作法】

    p17

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
光CVD五酸化タンタル薄膜の堆積とリーク電流低減の機構に関する研究
Title Transcription
ヒカリ CVD ゴサンカ タンタル ハクマク ノ タイセキ ト リーク デンリュウ テイゲン ノ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
谷本智 [著]
Author Heading
谷本, 智 タニモト, サトシ
Degree grantor/type
東京農工大学
Date Granted
平成4年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1992
Dissertation Number
甲第18号
Degree Type
工学博士