光CVD五酸化タンタル薄膜の堆積とリーク電流低減の機構に関する研究
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Table of Contents
【第1章 序論】
p1
1.1 本研究の歴史的背景
p1
1.2 低リーク電流酸化タンタル膜の実現
p5
1.3 本研究のあらましと意義
p8
【第2章 光CVD装置の構成と操作法】
p17
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ヒカリ CVD ゴサンカ タンタル ハクマク ノ タイセキ ト リーク デンリュウ テイゲン ノ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 谷本智 [著]
- Author Heading
- 谷本, 智 タニモト, サトシ
- Degree grantor/type
- 東京農工大学
- Date Granted
- 平成4年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第18号
- Degree Type
- 工学博士