マイクロ波プラズマCVD法によるAl-Si-C-O-N系薄膜の合成に関する研究
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Table of Contents
論文目次
p1
第I章 緒論
p1
I-1 本研究の目的と意義
p1
I-2 Al-Si-C-0-N系セラミックスの概要とその応用
p5
I-3 Al-Si-C-O-N系薄膜合成の近況とその特性
p13
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロハ プラズマ CVDホウ ニ ヨル Al-Si-C-O-Nケイ ハクマク ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 染野義博 [著]
- Author Heading
- 染野, 義博 ソメノ, ヨシヒロ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成5年2月10日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第5962号
- Degree Type
- 博士 (工学)