CZ-Si単結晶中の酸化物析出と酸化誘起積層欠陥に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: CZ-Si単結晶中の酸化物析出と酸化誘起積層欠陥に関する研究
• Title Transcription: CZ-Si タンケッショウチュウ ノ サンカブツ セキシュツ ト サンカ ユウキ セキソウ ケッカン ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 末岡浩治 [著]
• Author Heading: 末岡, 浩治 スエオカ, コウジ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成9年7月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第9662号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-S329
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000313751; http://id.ndl.go.jp/bib/000000313751
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 序論

第2章 低温(700-900℃)熱処理による酸素析出物の形態と成長過程

2-1 序(従来の研究と問題点)