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Table of Contents
論文目録
Contents
p5
Abstract
p1
Acknowledgments
p3
1.Introduction
p1
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- プレーンテキスト
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 白藤立 [著]
- Author Heading
- 白藤, 立 シラフジ, タツル
- Alternative Title
- アモルファス, 微結晶および多結晶シリコン薄膜の化学気相堆積におけるラジカル反応過程とその制御に関する研究 アモルファス , ビケッショウ オヨビ タケッショウ シリコン ハクマク ノ カガク キソウ タイセキ ニ オケル ラジカル ハンノウ カテイ ト ソノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 京都大学
- Date Granted
- 平成10年1月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 乙第9750号
- Degree Type
- 博士 (工学)