Studies on fluorocarbon plasma chemistry in an electron cyclotron resonance etching system

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on fluorocarbon plasma chemistry in an electron cyclotron resonance etching system
• Author/Editor: 宮田幸児 [著]
• Author Heading: 宮田, 幸児 ミヤタ, コウジ
• Alternative Title: 電子サイクロトロン共鳴エッチングシステムにおけるフッ化炭素プラズマ化学に関する研究 デンシ サイクロトロン キョウメイ エッチング システム ニ オケル フッカ タンソ プラズマ カガク ニ カンスル ケンキュウ
• Degree Grantor: 名古屋大学
• Date Granted: 平成10年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第4069号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-L430
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000323045; http://id.ndl.go.jp/bib/000000323045
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

• DOI: 10.11501/3137854; https://doi.org/10.11501/3137854
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3137854; https://dl.ndl.go.jp/pid/3137854
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Producer: 国立国会図書館
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-12-05T16:25:38+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Call No.: UT51-98-L430
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

Contents

1 Introduction

1.1 Fluorocarbon plasma etching of SiO₂ and Si₃N₄

1.2 Problems in previous studies on fluorocarbon plasma chemistries

1.3 Purpose and overview of this thesis