Spectroscopic ellipsometry of diamond films and oxide multilayers films

• Material Type: 博士論文
• Title: Spectroscopic ellipsometry of diamond films and oxide multilayers films
• Author/Editor: 馬躍飛 [著]
• Author Heading: 馬, 躍飛 マ, ヤクヒ
• Alternative Title: ダイヤモンド薄膜および酸化物多層薄膜の分光エリプソメトリー ダイヤモンド ハクマク オヨビ サンカブツ タソウ ハクマク ノ ブンコウ エリプソメトリー
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成10年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第3684号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: Ma, Yue Fei
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-Y120
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000329619; http://id.ndl.go.jp/bib/000000329619
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 緒言

1-1 セラミックス薄膜研究とエリプソメトリー

1-2 エリプソメトリーの歴史的背景と既往の研究