高分解能電子顕微鏡断面観察法による半導体ヘテロエピタキシャル界面構造の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 高分解能電子顕微鏡断面観察法による半導体ヘテロエピタキシャル界面構造の研究
• Title Transcription: コウブンカイノウ デンシ ケンビキョウ ダンメン カンサツホウ ニ ヨル ハンドウタイ ヘテロエピタキシャル カイメン コウゾウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 五十嵐信行 [著]
• Author Heading: 五十嵐, 信行 イガラシ, ノブユキ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成9年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第3077号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-Y358
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000329857; http://id.ndl.go.jp/bib/000000329857
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 半導体ヘテロエピタキシャル界面の形成技術及び評価技術