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博士論文

Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のハライド気相成長とデバイス応用に関する研究

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Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のハライド気相成長とデバイス応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-99-V697
Bibliographic ID of National Diet Library
000000344139
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3158948
Material type
博士論文
Author
碓井彰 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
筑波大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 第2章 研究の背景と目的

    p7

  • 2-1 残留不純物の削減

    p7

  • 2-2 ヘテロ構造成長装置

    p8

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のハライド気相成長とデバイス応用に関する研究
Title Transcription
3-5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ ノ ハライド キソウ セイチョウ ト デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
碓井彰 [著]
Author Heading
碓井, 彰 ウスイ, アキラ
Extent
冊
Degree grantor/type
筑波大学
Date Granted
平成9年7月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
乙第1308号