Studies of electron cyclotron resonance plasma source and its application to conductive film formation

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies of electron cyclotron resonance plasma source and its application to conductive film formation
• Author/Editor: 西村浩志 [著]
• Author Heading: 西村, 浩志 ニシムラ, ヒロシ
• Alternative Title: 電子サイクロトロン共鳴プラズマ源及びその導電性膜形成への応用に関する研究 デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマゲン オヨビ ソノ ドウデンセイマク ケイセイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成12年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第7977号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2000-H587
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000354810; http://id.ndl.go.jp/bib/000000354810
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

§1 INTRODUCTION

§1.1 Microwave Generation and its Propagation

§1.2 Application of Microwaves as the Electric Waves

§2 STUDY OF PLASMA MEASUREMENT METHOD USING MICROWAVE