半導体集積回路製造用フォトレジスト材料およびプロセスに関する研究
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Table of Contents
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目次
p1
序論
p1
参考文献
p21
第1編 g線/i線､KrF/ArFエキシマレーザリングラフィにおけるレジストの高解像度化とプロセスの高精度化
p22
第1章 ノボラック-ナフトキノンジアジド系ポジ型レジストの高解像度化
p22
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ シュウセキ カイロ セイゾウヨウ フォトレジスト ザイリョウ オヨビ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 岸村眞治 [著]
- Author Heading
- 岸村, 眞治 キシムラ, シンジ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2001
- Publication Date (W3CDTF)
- 2001
- Extent
- 1冊
- Degree Grantor
- 大阪府立大学