Studies on Spatial Distribution of Radicals in Electron Cyclotron Resonance Plasma

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on Spatial Distribution of Radicals in Electron Cyclotron Resonance Plasma
• Author/Editor: Masayuki Nakamura [著]
• Author Heading: 中村, 成志 ナカムラ, マサユキ
• Publication, Distribution, etc.: [Masayuki Nakamura]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 電子サイクロトロン共鳴プラズマ中のラジカル空間分布に関する研究 デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマ チュウ ノ ラジカル クウカン ブンプ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成13年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第5082号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-D239
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000398614; http://id.ndl.go.jp/bib/000000398614
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter 1.Introduction

1.1 Present state of plasma processing for ULSI devices

1.2 Previous studies on plasma chemistries

1.3 Purpose and composition of this thesis