第一回SEMIマイクロマシン/MEMSセミナー : 講演予稿集

• Material Type: 図書
• Title: 第一回SEMIマイクロマシン/MEMSセミナー : 講演予稿集
• Title Transcription: ダイ イッカイ SEMI マイクロマシン MEMS セミナー : コウエン ヨコウシュウ
• Author/Editor: 江刺正喜, 斉藤洋子 編
• Series Title: STEP ; 96-7
• Author Heading: 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities; 斉藤, 洋子, 1959- サイトウ, ヨウコ, 1959- ( 00366878 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : SEMIジャパン
• Publication Date: 1996.12
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 55p
• Size: 30cm
• Alternative Title: SEMI micromachine/MEMS seminar 96
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: マイクロマシン--会議録 マイクロマシン カイギロク ( 00657726 )Authorities
• NDC 9th ed.: 530.4 : Mechanical engineering
• NDLC: NB21
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期: 1996年12月3日
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: NB21-G25
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000002600446; http://id.ndl.go.jp/bib/000002600446
• National Bibliography No. (JPNO): 98031054
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

セッション１

９：３０ー　開会挨拶

９：４０ー　Ｍｉｃｒｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ：Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ａｃｔｉ ｖｉｔｉｅｓ　ａｎｄ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ

１０：４０ー　高アスペクト比微細構造デバイス

１１：４０ー　昼食