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半導体用高分子材料の評価技術とその最新動向 : 材料の研究開発の課題解決のために

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半導体用高分子材料の評価技術とその最新動向 : 材料の研究開発の課題解決のために

Call No. (NDL)
ND371-H70
Bibliographic ID of National Diet Library
000007502293
Material type
図書
Author
住ベテクノリサーチ株式会社
Publisher
住ベテクノリサーチ
Publication date
2000.4
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
187p ; 30cm
NDC
549.8
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Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 緒言/ 1

  • 第2章 半導体用高分子材料の評価技術の最新動向/ 2

  • 第3章 ウェハ回路パターン作成工程(前工程)における高分子材料の課題と評価技術/ 4

  • 3.1 フォトレジスト膜用材料の微細加工性の課題と評価技術/ 4

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Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイヨウ コウブンシ ザイリョウ ノ ヒョウカ ギジュツ ト ソノ サイシン ドウコウ : ザイリョウ ノ ケンキュウ カイハツ ノ カダイ カイケツ ノ タメニ
Author Heading
住ベテクノリサーチ株式会社 スミベ テクノリサーチ カブシキ ガイシャ ( 00957781 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2000.4
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
187p
Size
30cm
Place of Publication (Country Code)
JP