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(24) 2005
- 高誘電体材料ドライエッチングガス
p.8~15
- 高性能窒化膜プロセス向けキセノン循環型供給装置の開発
p.22~27
- 断熱圧縮現象によるガス温度上昇に関する数値解析とその検証
p.28~33
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- Title
- Title Transcription
- タイヨウ ニッサン ギホウ
- Volume
- (24) 2005
- Author Heading
- 大陽日酸株式会社 タイヨウ ニッサン カブシキ ガイシャ ( 01207657 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2005
- Publication Date (W3CDTF)
- 2005
- Year and volume of publication
- No. 23 (2004)-no. 27 (2008)
- Size
- 30cm