大陽日酸技報

• Material Type: 雑誌
• ISSN: 1349-693X
• ISSN-L: 1349-693X
• Title: 大陽日酸技報
• Title Transcription: タイヨウ ニッサン ギホウ
• Volume: (24) 2005
• Author Heading: 大陽日酸株式会社 タイヨウ ニッサン カブシキ ガイシャ ( 01207657 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 大陽日酸技術本部技報編集事務局
• Publication Date: 2005
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Year and volume of publication: No. 23 (2004)-no. 27 (2008)
• Size: 30cm
• Alternative Title: Taiyou Nippon Sanso technical report
• Key Title: Taiyo Nissan gihou
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• NDLC: ZP8
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z17-1192
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000065123
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007517501; http://id.ndl.go.jp/bib/000007517501
• National Bibliography No. (JPNO): 01007377
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 131

Table of Contents

重水を用いた原子層成長技術によるHigh-kゲート絶縁膜への重水素添加

高誘電体材料ドライエッチングガス

次世代Siデバイス向けPECVD低誘電率層間絶縁膜用プレカーサーの開発

高性能窒化膜プロセス向けキセノン循環型供給装置の開発

断熱圧縮現象によるガス温度上昇に関する数値解析とその検証