MEMSマテリアルの最新技術

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-88231-968-9
• Title: MEMSマテリアルの最新技術
• Title Transcription: MEMS マテリアル ノ サイシン ギジュツ
• Author/Editor: 江刺正喜 監修
• Author Heading: 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : シーエムシー出版
• Publication Date: 2007.11
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 368p
• Size: 27cm
• Alternative Title: Advanced technology of MEMS material
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: マイクロマシン マイクロマシン ( 00577044 )Authorities
• NDC 9th ed.: 530 : Mechanical engineering
• NDLC: NB21
• NDC (Introduction of Reference Books): 530
• Introduction (Introduction of Reference Books): 本書は、MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)に関する最新技術を解説した専門書。MEMSとは、微小電気機械素子、またその創製技術のことである。4章構成で、「第1章MEMS材料」、「第2章MEMSの製作」、「第3章MEMSデバイス」、「第4章MEMS周辺と応用」から成る。第1章では、圧電MEMSとして用いられるZnO , AiN , PZT薄膜(第1章1.)、SiC MEMSの加工技術(第1章3.)、サファイア真空圧力センサ(第1章4.)、LTCC基板(第1章7.)等についての技術動向、第2章ではレジスト塗布と露光技術(第2章1.)、シリコン単結晶の異方性エッチング(第2章2.)、シリコン深堀り技術(第2章3.)、微小めっき技術(第2章5.)、ステルスダイシング技術、(第2章7.)、ウェハレベルパッケージング(第2章8.)等についての技術動向を概説している。第3章では、シリコンを母材としたMEMS角速度センサ(第3章1.)、高周波メカニカルフィルタ(第3章3.)、RF回路にMEMS技術を応用したスイッチと可変キャパシタ技術(第3章4.)、MEMS光スキャナ(第3章6.)、マイクロ燃料改質器(第3章7.)、プローブ記録再生装置(第3章9.)等について技術動向を解説し、第4章では静電容量型MEMSセンサ用センスアンプLSi(第4章2.)、デシタル・マイクロミラー・デバイスをフォトマスクの代わりに用いたマスクレス露光機(第4章4.)、空間光変調器を使用したフォトマスク用描画装置(第4章5.)等について紹介している。
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 70000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: NB21-J2
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009221325; http://id.ndl.go.jp/bib/000009221325
• National Bibliography No. (JPNO): 21362079
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

序章　MEMSの基礎と応用/ 1

第1章 MEMS材料

1 圧電薄膜（ZnO，AlN，PZT）/ 8

1.1 概要/ 8