「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集

• Material Type: 雑誌; 電子資料
• Title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
• Title Transcription: センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム 」 シンポジウム ロンブンシュウ
• Volume: 36:2019.11.19-21
• Author/Editor: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
• Author Heading: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
• Publication Date: 2019
• Publication Date (W3CDTF): 2019
• Year and volume of publication: 26回 (2009)-
• Size: 12cm
• Alternative Title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム シンポジウム; マイクロ・ナノ工学シンポジウム マイクロ ナノ コウガク シンポジウム; 集積化MEMSシンポジウム シュウセキカ MEMS シンポジウム
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Note (Material Type): [電子資料]
• Computer File Characteristics: テキスト・データ
• Note (Computer File Characteristics): PDF (26回による)
• NDLC: ZN33
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 26回から29回までの本タイトル: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム; 「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 (日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催), 「 集積化MEMSシンポジウム」 (応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催) を収載
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: YH247-299
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007531764
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010643656; http://id.ndl.go.jp/bib/000010643656
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition

Table of Contents

高分解能イメージセンサ : ノイズとの戦い

反応性スパッタリング法を用いた光導波路SiCO薄膜における薄膜における光学的・機械特性の評価

深紫外LED向けシリコンパッケージング技術の開発

2段階パラメータランピングによる高アスペクト垂直深掘りトレンチの作製

シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベル真空パッケージング技術