「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集

• Material Type: 雑誌; 電子資料
• Title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
• Title Transcription: センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム 」 シンポジウム ロンブンシュウ
• Volume: 39:2022.11.14-17
• Author/Editor: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
• Author Heading: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
• Publication Date: 2022
• Publication Date (W3CDTF): 2022
• Year and volume of publication: 26回 (2009)-
• Size: 12cm
• Alternative Title: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム シンポジウム; マイクロ・ナノ工学シンポジウム マイクロ ナノ コウガク シンポジウム; 集積化MEMSシンポジウム シュウセキカ MEMS シンポジウム
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Note (Material Type): [電子資料]
• Computer File Characteristics: テキスト・データ
• Note (Computer File Characteristics): PDF (26回による)
• NDLC: ZN33
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 26回から29回までの本タイトル: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム; 「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 (日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催), 「 集積化MEMSシンポジウム」 (応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催) を収載
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: YH247-299
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007531764
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010643656; http://id.ndl.go.jp/bib/000010643656
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition

Table of Contents

集積化MEMS技術によるマルチモーダル分子認識センサ

カリウムイオンエレクトレット製デバイス量産化のための長期信頼性技術

超小型原子時計におけるプローブ光生成のためのFBAR発振器および波長可変VCSELの開発

SOIウェハのハイブリッド接合を用いた画素並列3層積層CMOSイメージセンサ

イベントドリブン型MEMS-LSI集積化触覚センサアレイシステムと機械学習による物体識別の検討