レジストプロセスの最適化テクニック : 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-904080-90-0
• Title: レジストプロセスの最適化テクニック : 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術
• Title Transcription: レジスト プロセス ノ サイテキカ テクニック : ビサイカ トラブル カイショウ ノ タメ ノ コウテイベツ タイサク オヨビ ザイリョウ ギジュツ
• Author Heading: 情報機構 ジョウホウ キコウ ( 01171002 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 情報機構
• Publication Date: 2011.9
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Extent: 557p
• Size: 27cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: リソグラフィー リソグラフィー ( 00576369 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.7 : Electronic engineering
• NDLC: ND386
• NDC (Introduction of Reference Books): 549.51
• Target Audience: 一般
• Price: 69000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND386-J148
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000011284277; http://id.ndl.go.jp/bib/000011284277
• National Bibliography No. (JPNO): 21993334
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: 微細化・高精度化のために、各プロセスをどうするか―ノウハウを掴もう！(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)

Table of Contents

目次

第1章 レジストプロセス最適化のための要点と手法―光学像の準備―

1. レジストプロセス最適化概要/ 3

1.1 リソグラフィ工程の流れとレジストプロセス/ 3

1.2 リソグラフィの技術トレンド/ 5