Planarization CMP & its applications

• Material Type: 雑誌; 電子資料
• ISSN: 2187-8579
• ISSN-L: 2187-8579
• Title: Planarization CMP & its applications
• Title Transcription: Planarization CMP & its applications
• Author Heading: 精密工学会 セイミツ コウガッカイ ( 00299339 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 福岡 : 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」
• Publication Date: 2013-
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Publication status: 不明
• Publication frequency: 年刊
• Year and volume of publication: v. 15 (2013年版)-
• Extent: CD-ROM
• Size: 12cm
• Abbreviated Title: Planarization
• Key Title: Planarization
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Note (Material Type): [電子資料]
• Computer File Characteristics: テキスト・データ
• Note (System Details): Windows 98SE以降 (v. 15による); Windows 7/8以降 (v. 16による)
• NDLC: ZN12; ZN33
• Note (Article): 雑誌記事索引採録あり
• Adopted period (Article): 国立国会図書館雑誌記事索引 16:2013-
• Holding library: 国立国会図書館
• Year and volume of holding: v. 15 (2013年版)-v. 16 (2014年版)
• Call No.: YH247-1327
• Related Material: 関連資料 : Planarization (ISSN:1345-6326); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108334
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024429068; http://id.ndl.go.jp/bib/024429068
• National Bibliography No. (JPNO): 01034114
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 144