プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-86428-170-6
• Title: プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例
• Title Transcription: プラズマ CVD ニ オケル セイマク ジョウケン ノ サイテキカ ニ ムケタ ハンノウ キコウ ノ リカイ ト プロセス セイギョ ・ セイマク ジレイ
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : サイエンス&テクノロジー
• Publication Date: 2018.9
• Publication Date (W3CDTF): 2018
• Extent: 328p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 膜 (工学) マク (コウガク) ( 00567419 )Authorities; プラズマ プラズマ ( 00569207 )Authorities
• NDC 10th ed.: 571.4 : Chemical engineering
• NDLC: PA151
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 50000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: PA151-L106
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 029299874; http://id.ndl.go.jp/bib/029299874
• National Bibliography No. (JPNO): 23135203
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: プラズマCVDで「所望の薄膜」を形成するには……本書はそのプロセスへの近道を示す１冊でありたいという想いから、ご執筆様方の多大なるご理解ご協力のもとに発刊されました。 プラズマCVDでは反応系が複雑であるがために、時には場当たり的に成膜条件・レシピを確立させることがあるかと存じます。しかし、もし少し...

Table of Contents

―目次―

第1章 目的に応じた成膜方式の選定

1. なぜプラズマCVDを使うのか/ 3

2. ドライvs.ウェット/ 4

3. PVDとCVD/ 5