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第1章 ナノインプリント・リソグラフィの概要・半導体への応用
第1節 ナノインプリント・リソグラフィのメカニズムと半導体応用に向けて
大阪公立大学 平井 義彦
はじめに
1. ナノインプリントの解像性
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 978-4-909118-79-0
- Title Transcription
- ナノインプリント ・ リソグラフィ ノ シャカイ ジッソウ ト ショウライ テンボウ : EUVL ニ タイコウスル チュウモク ノ ジセダイ ハンドウタイ ビサイ カコウ ギジュツ オヨビ リケイセイ カダイ コクフク ニ ムケタ トリクミ
- Author/Editor
- 平井義彦 監修
- Author Heading
- 監修者 ： 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ ( 01053992 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2025.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 2025
- Extent
- 135 p