常温接合法によるハイブリッド接合のための要素技術検討とその界面構造

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10168388

Material type: 博士論文

Author: 内海, 淳

Publisher: -

Publication date: 2015-03-25

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 横浜国立大学,博士（工学）

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: 常温接合法によるハイブリッド接合のための要素技術検討とその界面構造
Author/Editor: 内海, 淳
Author Heading: 内海, 淳
Publication Date: 2015-03-25
Publication Date (W3CDTF): 2015-03-25
Alternative Title: Study on the hybrid bonding technology using the surface activated bonding at room temperature for 3D integration
Degree grantor/type: 横浜国立大学
Date Granted: 2015-03-25
Date Granted (W3CDTF): 2015-03-25
Dissertation Number: 甲第1713号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 甲第1713号
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10168388
https://dl.ndl.go.jp/pid/10168388
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2016-08-04T09:59:51+09:00
Date Created (W3CDTF): 2016-09-16
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/10131/9229
https://ynu.repo.nii.ac.jp/records/4693
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp