黒鉛炉原子吸光法によるフォトレジスト中のケイ素の定量

• Material Type: 記事
• Title: 黒鉛炉原子吸光法によるフォトレジスト中のケイ素の定量
• Author/Editor: 水谷,晶代; 吉田,正道
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1995-03-05
• Publication Date (W3CDTF): 1995-03-05
• Alternative Title: Determination of silicon in photoresist by graphite-furnace AAS.
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 44(3)
• Volume: 44(3)
• Pages: 231-235
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: MIZUTANI,Akiyo (nee Motoyama); YOSHIDA,Masamichi
• Subject Heading: determination of silicon; photoresist; graphite-furnace AAS; calcium
• Note (General): 著者所属: 富士通(株)プロセス開発部; Affiliation: Process Development Division, Material Department, Fujitsu Ltd.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10893567; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893567
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399487; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399487
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: フォトレジスト中のケイ素量を黒鉛炉原子吸光法で直接定量をするための測定条件を検討した.測定の際炉内に試料を注入する前にマトリックス修飾剤としてカルシウム溶液を注入することにより高感度化を図った.まずカルシウム溶液を炉に注入し乾燥後, 2-エトキシエチルアセテート(EEA)で樹脂量が3%になるように希...