イオンスパッタリング法による窒化ほう素皮膜の生成

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10966889

Material type: 記事

Author: 黒沢和芳ほか

Publisher: あいち産業科学技術総合センター

Publication date: 1995

Material Format: Digital

Journal name: 愛知県工業技術センター報告 (31)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: イオンスパッタリング法による窒化ほう素皮膜の生成
Author/Editor: 黒沢和芳
水野和康
川本直樹
Publication, Distribution, etc.: 日本 : あいち産業科学技術総合センター
Publication Date: 1995
Publication Date (W3CDTF): 1995
Alternative Title: Boron nitride coatings by ion sputtering method
Periodical title: 愛知県工業技術センター報告
No. or year of volume/issue: (31)
Volume: (31)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10966889
https://dl.ndl.go.jp/pid/10966889
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 地方公共団体 > 都道府県 > 愛知県
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00069
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2017-10-13T21:28:21+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2012-03-19
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3487043/www.aichi-inst.jp/research/report/#report1995
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10966885
https://dl.ndl.go.jp/pid/10966885
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp