Ge(110)基板上GeSnヘテロエピタキシャル層の局所領域における異方的ひずみ構造のマイクロ回折分析

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Ge(110)基板上GeSnヘテロエピタキシャル層の局所領域における異方的ひずみ構造のマイクロ回折分析

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11564968

Material type: 記事

Author: 中塚理ほか

Publisher: 高輝度光科学研究センター

Publication date: 2019-08-29

Material Format: Digital

Journal name: SPring-8/SACLA利用研究成果集 7(2)

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Summary, etc.：: Ge(110) 基板上に形成した GeSn 混晶エピタキシャル層における局所ひずみ構造をマイクロ回折法によって分析した。[001]方向からマイクロビームを入射してサブミクロンスケールの走査を行った ω ロッキングカーブにおいては特徴的な揺らぎが観測されたのに対し、[<span style="text...

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Material Type: 記事
Title: Ge(110)基板上GeSnヘテロエピタキシャル層の局所領域における異方的ひずみ構造のマイクロ回折分析
Author/Editor: 中塚理
浅野孝典
財満鎭明
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 高輝度光科学研究センター
Publication Date: 2019-08-29
Publication Date (W3CDTF): 2019-08-29
Alternative Title: Microdiffraction analysis on anisotropic local strain structures of GeSn hetero-epitaxial layers grown on Ge(110) substrates
Periodical title: SPring-8/SACLA利用研究成果集
No. or year of volume/issue: 7(2)
Volume: 7(2)
ISSN (Periodical Title): 2187-6886
ISSN-L (Periodical Title): 2187-6886
Text Language Code: jpn
DOI: 10.18957/rr.7.2.114
https://doi.org/10.18957/rr.7.2.114
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11564968
https://dl.ndl.go.jp/pid/11564968
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2020-11-02T20:41:07+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2019-09-21
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://user.spring8.or.jp/resrep/
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11564965
https://dl.ndl.go.jp/pid/11564965
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp