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電子書籍・電子雑誌電気学会基礎・材料・共通部門大会論文集
Volume number令和3年
Article低環境負荷な物理蒸着...

低環境負荷な物理蒸着法によるフッ素系高分子薄膜の形成

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低環境負荷な物理蒸着法によるフッ素系高分子薄膜の形成

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11986575
Material type
記事
Author
安井爽眞ほか
Publisher
電気学会基礎・材料・共通部門
Publication date
2021
Material Format
Digital
Journal name
電気学会基礎・材料・共通部門大会論文集 令和3年
Publication Page
-
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Digital

Material Type
記事
Title
低環境負荷な物理蒸着法によるフッ素系高分子薄膜の形成
Author/Editor
安井爽眞
大石不二夫
臼井博明
Publication, Distribution, etc.
日本 : 電気学会基礎・材料・共通部門
Publication Date
2021
Publication Date (W3CDTF)
2021
Alternative Title
Formation of fluoropolymer thin films with SDG-friendly physical vapor deposition
Periodical title
電気学会基礎・材料・共通部門大会論文集
No. or year of volume/issue
令和3年
Volume
令和3年