パワーデバイス向けシリコンウェーハの再結合ライフタイム評価法に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: パワーデバイス向けシリコンウェーハの再結合ライフタイム評価法に関する研究
• Author/Editor: 佐々木, 駿
• Author Heading: 佐々木, 駿
• Publication Date: 2024-03-25
• Publication Date (W3CDTF): 2024-03-25
• Degree grantor/type: 九州工業大学
• Date Granted: 2024-03-25
• Date Granted (W3CDTF): 2024-03-25
• Dissertation Number: 甲第478号
• Degree Type: 博士（工学）
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 九州⼯業⼤学博⼠学位論⽂ 学位記番号：生工博甲第478号 学位授与年⽉⽇: 令和6年3⽉25⽇; 令和5年度
• DOI: 10.18997/0002000939; https://doi.org/10.18997/0002000939
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13739885; https://dl.ndl.go.jp/pid/13739885
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2024-09-06T22:07:43+09:00
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): https://doi.org/10.18997/0002000939; http://hdl.handle.net/10228/0002000939
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: パワー半導体は電気自動車や風力発電などの機器で電力変換のキーデバイスとして広く用いられている．パワー半導体はシリコン，炭化シリコン，窒化ガリウムなど様々な半導体ウェーハ上に形成されるが，中でもシリコンウェーハを用いたパワー半導体は高い量産性とコストメリットにより最も多く導入されている．多くのパワー半...

Table of Contents

第1章 パワーデバイス向けシリコンウェーハの再結合ライフタイム測定技術と課題| 第2章 シリコンウェーハ中の電気的欠陥評価手法| 第3章 OCVD法によるシリコンウェーハの再結合ライフタイム評価の詳細，メリットおよびその課題| 第4章 シリコンウェーハ用のOCVD評価素子の開発| 第5章 OCVD測定時のキャリアの拡散と注入の影響除去式の開発と実証実験| 第6章 OCVD測定時のPiNダイオード側壁での表面再結合の影響除去式の開発と実証実験| 第7章 パワーデバイス向けシリコンウェーハのデバイス特性・ウェーハ中再結合ライフタイム・ウェーハ中欠陥の相関関係調査によるOCVD法の性能確認| 第8章 結論