Si基板上パワーデバイス向けMOCVD装置の開発

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8377661

Material type: 記事

Author: 生方映徳ほか

Publisher: 大陽日酸

Publication date: 2011-12-02

Material Format: Digital

Journal name: 大陽日酸技報 (30)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: Si基板上パワーデバイス向けMOCVD装置の開発
Author/Editor: 生方映徳
矢野良樹
島村隼斗
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 大陽日酸
Publication Date: 2011-12-02
Publication Date (W3CDTF): 2011-12-02
Alternative Title: Development of production-scale MOCVD system for GaN power devices on Si substrates
Periodical title: 大陽日酸技報
No. or year of volume/issue: (30)
Volume: (30)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8377661
https://dl.ndl.go.jp/pid/8377661
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2013-12-03T12:31:06+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2011-12-15
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3193686/www.tn-sanso-giho.com/report30.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8377656
https://dl.ndl.go.jp/pid/8377656
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp