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Formation mechanism of extended defects in AlN grown on SiC{0001} and their reduction by initial growth control

Formation mechanism of extended defects in AlN grown on SiC{0001} and their reduction by initial growth control
Paper博士論文
Hironori Okumura [著][Hironori Okumura][2012]<UT51-2012-A341>
National Diet Library

超高耐圧素子実現に向けた窒化アルミニウム素子作製の技術基盤の構築

超高耐圧素子実現に向けた窒化アルミニウム素子作製の技術基盤の構築
Digital文書・図像類
奥村, 宏典2023
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窒素極性面AlNの接触抵抗低減と分極効果トランジスタの実現

窒素極性面AlNの接触抵抗低減と分極効果トランジスタの実現
Digital文書・図像類
奥村, 宏典2019
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InAlN層におけるデバイスプロセス中に発生した欠陥評価とその電気的特性への影響

InAlN層におけるデバイスプロセス中に発生した欠陥評価とその電気的特性への影響
Digital文書・図像類
奥村, 宏典2017
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研究報告集

研究報告集
Paper雑誌
[サムコ科学技術振興財団] [編]サムコ科学技術振興財団2019-<Z74-K829>
National Diet Library
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旭硝子財団助成研究成果報告

旭硝子財団助成研究成果報告
Recording Media雑誌電子資料
旭硝子財団2005-<YH247-410>
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SiC{0001}上AｌＮ層における拡張欠陥の発生機構と初期成長制御によるその低減

SiC{0001}上AｌＮ層における拡張欠陥の発生機構と初期成長制御によるその低減
Digital博士論文
Okumura, Hironori京都大学 (Kyoto University)2012-03-26
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Optronics : 光技術コーディネートジャーナル

Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
PaperDigital雑誌
オプトロニクス社1982-<Z16-1255>
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電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報

電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Paper雑誌
電子情報通信学会1987-2020<Z16-940>
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