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Feature profile evolution in plasma processing using on-wafer monitoring system (Springer briefs in applied sciences and technology)

Paper図書

Seiji Samukawa [著]Springerc2014<MC241-B32>

National Diet Library

低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製

Paper図書

寒川誠二, 東北大学 [著][寒川誠二]2003-2005<Y151-H15360016>

National Diet Library

低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製

Paper図書

寒川誠二研究代表者[寒川誠二]2006.5

Other Libraries in Japan

電子サイクロトロン共鳴プラズマ法による半導体のサブミクロン加工に関する研究

PaperDigital博士論文障害者向け資料あり

寒川誠二 [著]<UT51-92-M164>

Available onlineNational Diet Library

エッチング技術の最新動向

Paper図書

寒川誠二著EDリサーチ社2002.7

Other Libraries in Japan

プラズマ若手夏の学校テキスト第43回

Paper図書

プラズマ・核融合学会プラズマ若手グループ[2004]<MC241-H12>

National Diet Library

プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会

Paper図書

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会編応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会2003.9<MC241-H23>

National Diet Library

UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発

Digital文書・図像類

後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 寒川, 誠二, 塚田, 勉2000-03

Available onlineOther Libraries in Japan

東北大学流体科学研究所報告

Paper雑誌雑誌タイトル

東北大学流体科学研究所編東北大学流体科学研究所1990-<Z15-669>

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電子情報通信学会誌

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

電子情報通信学会1987-<Z16-192>

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酸化防止剤に関する研究

Paper博士論文

寒川誠二 [著]<UT51-45-F100>

National Diet Library

まぐね

Paper雑誌雑誌タイトル

日本応用磁気学会2006-<Z74-E810>

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光技術コンタクト

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

光学工業技術協会1987-<Z15-362>

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光アライアンス

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

光アライアンス編集委員会編日本工業出版1990-2024<Z16-2199>

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高圧ガス

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

高圧ガス保安協会 [編]高圧ガス保安協会1964-<Z17-88>

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化學工業

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

小峰工業出版1950-2023<Z17-54>

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電気学会誌

Paper雑誌雑誌タイトル

電気学会1994-<Z16-177>

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プラズマ・核融合学会誌

Paper雑誌雑誌タイトル

プラズマ・核融合学会編集委員会編プラズマ・核融合学会編集委員会1993-<Z15-8>

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応用物理

Paper雑誌雑誌タイトル

応用物理学会1932-<Z15-243>

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Journal of the Vacuum Society of Japan

Paper雑誌雑誌タイトル

日本真空協会2008-2017<Z16-474>

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