Jump to main content

yr 〜
yr

Search results 68

塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御

塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御
Paper図書
斧高一, 京都大学 [著][斧高一]2005-2006<Y151-H17340172>
National Diet Library
  • Author Heading斧, 高一 京都大学

プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御

プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御
Paper図書
斧高一, 京都大学 [著][斧高一]2002-2004<Y151-H14380209>
National Diet Library
  • Author Heading斧, 高一 京都大学

プラズマ若手夏の学校 : (社)プラズマ・核融合学会 : テキスト 第50回

プラズマ若手夏の学校 : (社)プラズマ・核融合学会 : テキスト 第50回
Paper図書
プラズマ・核融合学会プラズマ若手グループ[2011]<MC241-J16>
National Diet Library

塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御

塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御
Paper図書
研究代表者 斧高一[斧高一]2007.5
Other Libraries in Japan
  • Author Heading斧, 高一 京都大学大学院工学研究科

プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御

プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御
Paper図書
斧高一研究代表[斧高一]2005.5
Other Libraries in Japan
  • Author Heading斧, 高一 京都大学大学院工学研究科

実践的プラズマプロセス構築のための基礎と応用最前線 : ULSIからカーボン配線,MEMS,大気圧プラズマまで : 第16回プラズマエレクトロニクス講習会

実践的プラズマプロセス構築のための基礎と応用最前線 : ULSIからカーボン配線,MEMS,大気圧プラズマまで : 第16回プラズマエレクトロニクス講習会
Paper図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会2005.10<MC241-H21>
National Diet Library

Experimental studies of plasma production by a pulsed high-current electron beam

Experimental studies of plasma production by a pulsed high-current electron beam
Paper博士論文
斧高一 [著]<UT51-55-F281>
National Diet Library
  • Author Heading斧, 高一

A study of advanced integrated semiconductor device and process technologies for data storage and transmission

A study of advanced integrated semiconductor device and process technologies for data storage and transmission
Digital博士論文障害者向け資料あり
Horikawa, Tsuyoshi2016-03-23
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contributor斧, 髙一 木村, 健二 立花, 明知

A Study of Plasma-Induced Surface Roughness and Ripple Formation during Silicon Etching in Inductively Coupled Chlorine Plasmas

A Study of Plasma-Induced Surface Roughness and Ripple Formation during Silicon Etching in Inductively Coupled Chlorine Plasmas
Digital博士論文障害者向け資料あり
Nakazaki, Nobuya2016-03-23
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contributor斧, 髙一 稲室, 隆二 青木, 一生

A study of defect generation phenomena in single crystalline silicon substrate during plasma processing and the characterization techniques

A study of defect generation phenomena in single crystalline silicon substrate during plasma processing and the characterization techniques
Digital博士論文障害者向け資料あり
Nakakubo, Yoshinori2015-05-25
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contributor斧, 髙一 木村, 健二 立花, 明知

低応力X線吸収体の成膜とX線マスクのパターン位置精度の向上に関する研究

低応力X線吸収体の成膜とX線マスクのパターン位置精度の向上に関する研究
Digital博士論文障害者向け資料あり
丸本, 健二2013-11-25
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contributor斧, 髙一 田畑, 修 琵琶, 志朗

Atomic-Scale Analysis of Plasma-Surface Interactions and Formation Mechanisms of Profile Anomalies and Surface Roughness during Plasma Etching of Silicon

Atomic-Scale Analysis of Plasma-Surface Interactions and Formation Mechanisms of Profile Anomalies and Surface Roughness during Plasma Etching of Silicon
Digital博士論文障害者向け資料あり
Tsuda, Hirotaka2013-05-23
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contributor斧, 髙一 稲室, 隆二 青木, 一生

A Study on Plasma Process-Induced Damage during Fabrication of Si Devices and Methodology for Optical Measurement

A Study on Plasma Process-Induced Damage during Fabrication of Si Devices and Methodology for Optical Measurement
Digital博士論文障害者向け資料あり
Matsuda, Asahiko2013-05-23
Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Contributor斧, 髙一 木村, 健二 立花, 明知

応用物理

応用物理
Paper雑誌雑誌タイトル
応用物理学会1932-<Z15-243>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  •  
  •  
  •  
  •  
  •  
    •  

化學工業

化學工業
PaperDigital雑誌雑誌タイトル
小峰工業出版1950-2023<Z17-54>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  •  
  •  
  •  
  •  
  •  
    •  

二相系格子ボルツマン法およびX線を用いた燃料電池内気液二相流に関する研究

二相系格子ボルツマン法およびX線を用いた燃料電池内気液二相流に関する研究
Digital博士論文
盛山, 浩司京都大学 (Kyoto University)2012-09-24
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Contributor稲室, 隆二 斧, 髙一 青木, 一生

希薄気体力学における移動境界問題の研究

希薄気体力学における移動境界問題の研究
Digital博士論文
Tsuji, Tetsuro京都大学 (Kyoto University)2013-03-25
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Contributor青木, 一生 稲室, 隆二 斧, 髙一

表面科学

表面科学
Paper雑誌雑誌タイトル
日本表面科学会 編日本表面科学会1980-2017<Z15-379>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  •  
  •  
  •  
  •  
  •  
    •  

プラズマ・核融合学会誌

プラズマ・核融合学会誌
Paper雑誌雑誌タイトル
プラズマ・核融合学会編集委員会 編プラズマ・核融合学会編集委員会1993-<Z15-8>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  •  
  •  
  •  
  •  
  •  
    •  

二相系格子ボルツマン法を用いた流れ場中の微粒子分散化過程の研究

二相系格子ボルツマン法を用いた流れ場中の微粒子分散化過程の研究
Digital博士論文
西山, 卓哉京都大学 (Kyoto University)2013-01-23
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Contributor稲室, 隆二 斧, 髙一 青木, 一生
RSS