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スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製

スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製
Paper図書
星, 陽一, 東京工芸大学1992-1993<Y151-H04650272>
National Diet Library
  • Subject Heading窒化鉄薄膜 プラズマ源 スパツタ イオンビームデポジツシヨン 軟磁性薄膜 高飽和磁化 薄膜ヘツド

スパツタ形プラズマ源による薄膜ヘツド用巨大飽和磁化窒化鉄軟磁性薄膜の作製

スパツタ形プラズマ源による薄膜ヘツド用巨大飽和磁化窒化鉄軟磁性薄膜の作製
Paper図書
星, 陽一, 東京工芸大学1990-1992<Y151-H02650229>
National Diet Library
  • Subject Heading窒化鉄薄膜 イオンビームデポジツシヨン 対向ターゲツト式スパツタ法 スパツタ形プラズマ源 軟磁性膜

スパツタ形大電流イオン源の開発とその酸化物高温超伝導体薄膜形成への応用

スパツタ形大電流イオン源の開発とその酸化物高温超伝導体薄膜形成への応用
Paper図書
星, 陽一, 東京工芸大学1989-1990<Y151-H01850065>
National Diet Library
  • Subject Headingスパツタ形イオン源 プラズマ源 対向ターゲツト式スパツタ法 イオンビームデポジツシヨン 金属イオン 窒化鉄薄膜 Co Cr薄膜 酸化物超伝導体薄膜

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