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静電噴霧沈着法による組成及び膜構造の制御された無機薄膜の製造装置開発

静電噴霧沈着法による組成及び膜構造の制御された無機薄膜の製造装置開発
Paper図書
大谷, 吉生, 金沢大学1999-2001<Y151-H11555206>
National Diet Library
  • Subject Heading静電噴霧沈着法 LiMn2O4 LiCoO2 セラミツクス薄膜

レスキユーマイクロロボツト用生物規範型体温・呼気検出センサフユージヨンの開発

レスキユーマイクロロボツト用生物規範型体温・呼気検出センサフユージヨンの開発
Paper図書
牧野, 英司, 北海道大学1998-1999<Y151-H10450155>
National Diet Library
  • Subject Headingレスキユーマイクロロボツト 呼気検出炭酸ガスセンサ 体温検出赤外線センサ 焦電セラミツクス薄膜

複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチユエータの研究

複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチユエータの研究
Paper図書
池田, 正幸, 北海道大学1995-1998<Y151-H07405009>
National Diet Library
  • Subject Heading超薄膜 形状記憶合金膜 バイメタル セラミツクス薄膜 強誘電体薄膜 積層薄膜アクチユエータ レーザアブレーシヨン...

薄膜セラミツクス被覆材の創成と強度の分子動力学的解析に関する基礎研究

薄膜セラミツクス被覆材の創成と強度の分子動力学的解析に関する基礎研究
Paper図書
星出, 敏彦, 京都大学1994-1995<Y151-H06650107>
National Diet Library
  • Subject Headingセラミツクス薄膜 セラミツクス被覆材 分子動力学法 スパツタリング法 超微小...

各種雰囲気下におけるセラミツクス薄膜弾性率測定器の開発

各種雰囲気下におけるセラミツクス薄膜弾性率測定器の開発
Paper図書
花田, 禎一, 京都大学1988-1989<Y151-S63850166>
National Diet Library
  • Subject Headingセラミツクス薄膜 弾性的性質 振動リード法 ヤング率温度係数 高周波スパツタ...

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